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Brevets - Patents

2014

Dispositif de formation d’un faisceau quasi-neutre de particule de charges opposees
French patent application : 14 53469
Filed date : April 17 2014
Inventors : D. Rafalskyi and A. Aanesland

2013

Electrical circuit to impedance match a source and a load at multiple frequencies, method to design such a circuit
Publication number : WO/2013/186381
Publication date : 20 August 2012 (french), 14 June 2013 (International)
Inventors : E.V. Johnson and J.P. Booth

2012

Method and device for forming a plasma beam/Procédé et dispositif pour la formation d’un faiseau plasma
Publication number : WO/2012/042143 A1
Publication date : 5 April 2012
Inventors : A. Aanesland, P. Chabert, M. Irzyk, S. Mazouffre

Plasma processing in a capacitively-coupled reactor with trapezoidal-waveform excitation
Publication number : European Patent 10169735.7
Publication date : 18 January 2012
Inventors : J.P. Booth, E. Johnson

2010

Electronegative plasma thruster with optimized injection
Publication number : WO/2010/060887 A1
Publication date : 2010-06-03
Inventors : P. Chabert, A. Aanesland, A. Meige, G. Leray

Plasma processing in a capacitively-coupled reactor with trapezoidal-waveform excitation
Publication number : EU patent 10169735.7-1226
Publication date : 15 July 2010
Inventors : Jean-Paul Booth and Erik Johnson

2009

Surface plasma gas processing
Publication number : WO2009007588
publication date : 2009-01-15
inventors : A. Rousseau, K. Allegraud, O. Guaitella

Probe for Measuring Characteristics of an Excitation Current of a Plasma, and Associated Plasma Reactor
Publication number : US2007252580 publié le aussi sous n°US7615985
publication date : 01/11/2009
inventors :DINE S., JOLLY J., LAROUR J.

2008

Methods and apparatus for normalizing optical emission spectra
Publication number : US Application No. 61042011
publication date : 3-apr-08
inventors : V.C. Venugopal, E. Pape and J.P. Booth

Methods for automatically characterizing a plasma
Publication number : US Application No. 61075948
publication date : 26-jun-08
inventors : D.L. Keil, J.P. Booth and C. Thorgrimsson

Passive capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting in-situ arcing events in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078731
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P. Booth and D.L. Keil

Capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting strike step in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078739
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P. Booth and D.L. Keil

Capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting dechucking in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078742
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P. Booth and D.L. Keil

Plasma-facing probe arrangement including vacuum gap for use in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078745
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P. Booth and D.L. Keil

RF-biased capacitively-coupled electrostatic (rfb-cce) probe arrangement for characterizing a film in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078748
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P. Booth, L. Albarede, J. Kim and D.L. Keil

Passive capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting plasma instabilities in a plasma processing chamber
Publication number : US Application No. 61078747
publication date : 7-jul-08
inventors : J.P.Booth, M. Nagai and D. Keil

2007

Electronegative plasma motor
Publication number : WO/2007/065915 A1
publication date : 2007-06-14
inventors : P. Chabert

Réacteur de couplage catalyseur/décharge de surface pour le traitement de polluants atmosphériques, COV
Publication number : n° FR07.04900
publication date : 6/7/2007
inventors : ROUSSEAU, K. ALLEGRAUD, GUAITELLA O.

Plasma unconfinement sensor
Publication number : US Application No. 61013623
publication date :December 13, 2007
inventors : Jean-Paul Booth, Alexei Marakhtanov, Rajinder Dhindsa, Luc Albarede, and Seyed Jafar Jefarian-Tehrani

2005

Combined treatment of gaseous effluents by cold plasma and photocatalysis
priority number : FR 053358
Priority date : 2005-11-07
inventors : F. Thévenêt, E. Puzenat, C. Guillard, J. Dussaud, R. Clavel, E. Rutman, J.M. Herrmann, A. Rousseau, O. Guaitella
Applicant : Ahlstrom Research and Services

2004
Procédé et dispositif de mesure de caractérisation d’ un plasma
Publication number : French Patent N° 04 10 574
publication date : 7 October 2004
inventors : S.Dine, J.P.Booth and J.Guillon


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